石墨烯生長爐（PECVD）產品說明：

　　石墨烯生長爐由BLMT-GT管式爐+真空系統+供氣系統+水冷系統組成，可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，在真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

　　管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

　　軟件控制系統：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

　　一：基本參數：

　　1:加熱爐部分

　　2:爐膛模式開啟式爐膛

　　3:顯示模式觸摸屏

　　4:溫度1400℃

　　5:工作溫度≤1350℃

　　6:升溫速率建議10℃/Min Max：30℃/Min

　　7:預熱溫區長度150mm

　　8:主溫區長度300mm

　　9:預熱溫區移動手動移動

　　10:主溫區移動自動移動，速度可以設定

　　二：設備特點：

　　1:設備規格2000*85*1400mm（長*寬*高）

　　2:爐管長度2000mm

　　3:控溫精度±1℃

　　4:密封方式快速法蘭密封

　　5:溫度曲線30段"時間—溫度曲線"任意可設

　　6:預存曲線可預存15條溫度曲線

　　7:超溫報警有

　　8:過流保護有

　　9:斷偶提示有

　　10:測溫元件s型熱電偶

　　11:爐膛材料氧化鋁纖維

　　12：射頻電源功率

　　13：信號頻率13.56 MHz±0.005%

　　14：功率輸出范圍5W-500W

　　15：功率穩定度±0.1%

　　16：諧波分量≤-50dbc

　　17：供電電壓單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ

　　18：整機效率>=70%

　　19：功率因素>=90%

　　20：冷卻方式強制風冷

　　真空部分

　　1：工作電電壓220V±10%50~60HZ

　　2：功率500瓦

　　3：抽氣速率4L\s

　　4：進氣口口徑KF25

　　5：排氣口口徑KF25

　　6：轉速1450rpm

　　7：噪音55dB

　　9：真空4X10-2Pa

　　氣路系統

　　1,2,3,4氣路采用DB07系列

　　準確度：±1.5%

　　重復精度：±0.2%

　　響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

　　工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

　　整機系統特色

　　正壓測量-100Kpa---100Kpa

　　真空測量-100Kpa

　　超壓保護超壓保護值可以設定

　　壓力恒定恒定壓力值可以設定

　　智能氣路氣路系統可以編程

　　氣路定時通氣時間可以設定

　　射頻工作時間設定輝光放電時間可以設定，自動關機

　　移動速度調節移動速度可以設定

　　系統真空度5Pa